Technology Transfer
成果轉化
作者:光電工研院
高速光通信半導體激光器芯片研發與制造
2017-12-25

繞城高(gao)(gao)(gao)速DFB半導體(ti)激(ji)(ji)光(guang)(guang)器芯(xin)(xin)片其(qi)外(wai)延結構復(fu)雜、光(guang)(guang)柵(zha)(zha)刻(ke)蝕后(hou)需(xu)再生(sheng)長(chang)(chang)、工(gong)藝和測(ce)試步驟繁(fan)多,因而形成(cheng)非常(chang)高(gao)(gao)(gao)的(de)(de)(de)(de)技(ji)(ji)術壁(bi)壘,使得(de)國(guo)內在(zai)這一(yi)(yi)(yi)領域(yu)(yu)一(yi)(yi)(yi)直處(chu)于空白階(jie)段,芯(xin)(xin)片主(zhu)要靠從(cong)臺(tai)灣、日本及(ji)北美進口獲取。項目成(cheng)員利用(yong)自身在(zai)外(wai)延片和芯(xin)(xin)片工(gong)藝領域(yu)(yu)的(de)(de)(de)(de)多年經驗,提(ti)(ti)出由(you)FP激(ji)(ji)光(guang)(guang)器到DFB激(ji)(ji)光(guang)(guang)器;由(you)10G DFB激(ji)(ji)光(guang)(guang)芯(xin)(xin)片到100G DFB芯(xin)(xin)片;由(you)外(wai)部光(guang)(guang)柵(zha)(zha)到內部光(guang)(guang)柵(zha)(zha)再生(sheng)長(chang)(chang)技(ji)(ji)術,從(cong)簡到繁(fan)合(he)理的(de)(de)(de)(de)完成(cheng)高(gao)(gao)(gao)速半導體(ti)激(ji)(ji)光(guang)(guang)器產品的(de)(de)(de)(de)梯度(du)開(kai)發。值得(de)一(yi)(yi)(yi)提(ti)(ti)的(de)(de)(de)(de)是,為(wei)了能更(geng)進一(yi)(yi)(yi)步提(ti)(ti)高(gao)(gao)(gao)良(liang)率(降低(di)制(zhi)作復(fu)雜度(du))降低(di)成(cheng)本,我(wo)們(men)提(ti)(ti)出產品研(yan)發初期采(cai)用(yong)外(wai)部光(guang)(guang)柵(zha)(zha)制(zhi)成(cheng)單模DFB激(ji)(ji)光(guang)(guang)器,可免除外(wai)延片再生(sheng)長(chang)(chang)的(de)(de)(de)(de)需(xu)要和制(zhi)作DFB光(guang)(guang)柵(zha)(zha)的(de)(de)(de)(de)工(gong)藝過程。同時采(cai)用(yong)選區(qu)生(sheng)長(chang)(chang) (selectivearea growth, SAG)的(de)(de)(de)(de)方(fang)式(shi)(shi),利用(yong)氧(yang)化層(ceng)定義不同區(qu)域(yu)(yu)有著不同主(zhu)動(dong)層(ceng)的(de)(de)(de)(de)方(fang)式(shi)(shi),以此方(fang)式(shi)(shi)在(zai)一(yi)(yi)(yi)次(ci)磊晶中(zhong)(zhong)將所有主(zhu)動(dong)層(ceng)長(chang)(chang)好。用(yong)此技(ji)(ji)術生(sheng)產的(de)(de)(de)(de)25G半導體(ti)激(ji)(ji)光(guang)(guang)外(wai)延片,并在(zai)工(gong)藝過程中(zhong)(zhong)用(yong)四條不同波長(chang)(chang)的(de)(de)(de)(de)DFB laser 達到 100Gbs的(de)(de)(de)(de)傳(chuan)輸要求(qiu)。這一(yi)(yi)(yi)過程降低(di)了初期對于高(gao)(gao)(gao)端100G芯(xin)(xin)片制(zhi)成(cheng)的(de)(de)(de)(de)復(fu)雜度(du),降低(di)了產品開(kai)發的(de)(de)(de)(de)運營成(cheng)本。


就業前景

我國(guo)是電(dian)訊設施(shi)(shi)設備的(de)(de)通常研發國(guo)中的(de)(de)一種,有(you)實(shi)施(shi)(shi)意(yi)見三巨頭及許多成長型(xing)型(xing)中型(xing)企業工作數以(yi)(yi)億美元(yuan)計的(de)(de)電(dian)訊設施(shi)(shi)設備,領域(yu)(yu)的(de)(de)規模更(geng)要(yao)以(yi)(yi)一千億或是億美元(yuan)計。該類(lei)原則通常護(hu)膚品光(guang)傳輸器(qi)通常APP在倆(lia)個(ge)層級領域(yu)(yu)。



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